當(dāng)前位置:深圳市中圖儀器股份有限公司>>顯微測(cè)量?jī)x>>共聚焦顯微鏡>> VT6100激光掃描共聚焦顯微鏡技術(shù)
中圖儀器激光掃描共聚焦顯微鏡技術(shù)結(jié)合精密Z向掃描模塊,、3D 建模算法等對(duì)器件表面進(jìn)行非接觸式掃描并建立表面3D圖像,,通過(guò)系統(tǒng)軟件對(duì)器件表面3D圖像進(jìn)行數(shù)據(jù)處理與分析,并獲取反映器件表面質(zhì)量的2D,、3D參數(shù),,從而實(shí)現(xiàn)器件表面形貌3D測(cè)量。
VT6000系列共聚焦顯微鏡以共聚焦技術(shù)為原理,,在材料生產(chǎn)領(lǐng)域中,,對(duì)各種產(chǎn)品、部件和材料表面的面形輪廓,、表面缺陷,、磨損情況、腐蝕情況,、平面度,、粗糙度、波紋度,、孔隙間隙,、臺(tái)階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進(jìn)行測(cè)量和分析,。
產(chǎn)品功能
1) 設(shè)備提供表征微觀形貌的輪廓尺寸測(cè)量功能,;
2)一體化操作的測(cè)量與分析軟件,操作無(wú)須進(jìn)行切換界面,,預(yù)先設(shè)置好配置參數(shù)再進(jìn)行測(cè)量,,軟件自動(dòng)統(tǒng)計(jì)測(cè)量數(shù)據(jù)并提供數(shù)據(jù)報(bào)表導(dǎo)出功能,即可快速實(shí)現(xiàn)批量測(cè)量功能,。
3)提供調(diào)整位置,、糾正、濾波,、提取四大模塊的數(shù)據(jù)處理功能,。其中調(diào)整位置包括圖像校平、鏡像等功能,;糾正包括空間濾波,、修描、尖峰去噪等功能,;濾波包括去除外形,、標(biāo)準(zhǔn)濾波、過(guò)濾頻譜等功能,;提取包括提取區(qū)域和提取剖面等功能,。
4) 提供粗糙度分析、幾何輪廓分析,、結(jié)構(gòu)分析,、頻率分析、功能分析等五大分析功能,。其中粗糙度分析包括依據(jù)標(biāo)準(zhǔn)的ISO4287的線粗糙度,、ISO25178面粗糙度、ISO12781平整度等全參數(shù)分析功能,;幾何輪廓分析包括臺(tái)階高,、距離、角度,、曲率等特征測(cè)量和直線度,、圓度形位公差評(píng)定等功能;結(jié)構(gòu)分析包括孔洞體積和波谷深度等,;頻率分析包括紋理方向和頻譜分析等功能,;功能分析包括SK參數(shù)和體積參數(shù)等功能。
5) 提供一鍵分析和多文件分析等輔助分析功能,,設(shè)置分析模板,,結(jié)合測(cè)量中提供的自動(dòng)測(cè)量和批量測(cè)量功能,,可實(shí)現(xiàn)對(duì)小尺寸精密器件的批量測(cè)量并直接獲取分析數(shù)據(jù)的功能。
性能特點(diǎn)
1,、高精度,、高重復(fù)性
1)以轉(zhuǎn)盤共聚焦光學(xué)系統(tǒng)為基礎(chǔ),結(jié)合高穩(wěn)定性結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)和3D重建算法,,共同組成測(cè)量系統(tǒng),,儀器測(cè)量精度高;
2)儀器的隔震設(shè)計(jì)能夠消減底面振動(dòng)噪聲,,在大部分的環(huán)境中穩(wěn)定可靠,,具有良好的測(cè)量重復(fù)性。
2,、一體化操作的測(cè)量分析軟件
1)測(cè)量與分析同界面操作,,無(wú)須切換,測(cè)量數(shù)據(jù)自動(dòng)統(tǒng)計(jì),,實(shí)現(xiàn)了快速批量測(cè)量的功能,;
2)可視化窗口,便于用戶實(shí)時(shí)觀察掃描過(guò)程,;
3)結(jié)合自定義分析模板的自動(dòng)化測(cè)量功能,,可自動(dòng)完成多區(qū)域的測(cè)量與分析過(guò)程;
4)幾何分析,、粗糙度分析,、結(jié)構(gòu)分析、頻率分析,、功能分析五大功能模塊齊全,;
5)一鍵分析,、多文件分析,,自由組合分析項(xiàng)保存為分析模板,批量樣品一鍵分析,,并提供數(shù)據(jù)分析與統(tǒng)計(jì)圖表功能,;
6)可測(cè)依據(jù)ISO/ASME/EUR/GBT等標(biāo)準(zhǔn)的多達(dá)300余種2D、3D參數(shù),。
3,、精密操縱手柄
中圖儀器激光掃描共聚焦顯微鏡技術(shù)集成X、Y,、Z三個(gè)方向位移調(diào)整功能的操縱手柄,,可快速完成載物臺(tái)平移、Z向聚焦等測(cè)量前工作,。
4,、雙重防撞保護(hù)措施
除出擊的軟件ZSTOP設(shè)置Z向位移下限位進(jìn)行防撞保護(hù)外,,另在Z軸上設(shè)計(jì)有機(jī)械電子傳感器,當(dāng)鏡頭觸碰到樣品表面時(shí),,儀器自動(dòng)進(jìn)入緊急停止?fàn)顟B(tài),,最大限度的保護(hù)儀器,降低人為操作風(fēng)險(xiǎn),。